http://patio-ir-master.com/tr/tags/optik/ Recent content in Optik on Patio Infrared Heating Masters Hugo tr Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/tr/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/tr/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Optik wafer işleme ısıtıcısı"></p> <p>Litografi katında, 300 mm’lik bir wafer, coat işleminden bake aşamasına hattın takt süresiyle senkronize şekilde akar. Yumuşak bake 90 °C’de, sert bake 110 °C’de gerçekleştirilir. Fotoresistin her lotta aynı şekilde davranması gerekir. Termal profil kaydığında, bedelini hemen ödersiniz: CD kayması, zayıf yapışma, köprü kusurları ve ardından tekrar işleme. Isıtıcı sadece arka plandaki başka bir kutu değildir. Fotoresist termal bütçesinin kontrol düğmesidir.</p> <p>Optik wafer işleme ısıtıcıları bu kontrol için tasarlanmıştır. Hızlı, düşük temaslı veya temassız ısıtma sağlarlar; sıkı bir uniformite ve tekrarlanabilirlikle, böylece bake aşaması değişkenlik kaynağı haline gelmez.</p>