http://patio-ir-master.com/uk/tags/%D0%BE%D0%BF%D1%82%D0%B8%D1%87%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Оптичний on Patio Infrared Heating Masters Hugo uk Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/uk/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/uk/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Оптичний нагрівач для обробки пластин"></p> <p>На лінії фотолітографії 300 мм пластина переходить від нанесення покриття до випікання у точній відповідності до такту лінії. М’яке випікання при 90 °C, жорстке — при 110 °C. Фоторезист має поводитися однаково, лот за лотом. Якщо тепловий профіль змінюється, це відразу позначається на результаті: зсув критичних розмірів (CD), погане прилипання, дефекти містків — а далі переробка. Нагрівач — це не просто ще один вузол у фоні. Це регулятор теплового бюджету фоторезисту.</p> <p>Оптичні нагрівачі для обробки пластин розроблені саме для такого контролю. Вони забезпечують швидкий нагрів із низьким контактом або безконтактний нагрів із високою однорідністю та повторюваністю, щоб крок випікання не став джерелом варіабельності.</p>