Giữ cho các tấm wafer sạch sẽ: Tại sao thiết kế bóng đèn lại quan trọng?
Trong nhà máy chế tạo linh kiện bán dẫn, việc bóng đèn hỏng là một tình huống khủng khiếp. Không chỉ gây ra thời gian ngừng hoạt động, mà còn có thể dẫn đến những hậu quả nghiêm trọng khác. Nếu ống thủy tinh bị vỡ trong lúc đang hoạt động, những mảnh thủy tinh và kim loại sẽ rơi xuống các tấm wafer, gây hư hại nghiêm trọng cho chúng.
Chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn IR bằng sợi carbon để ngăn chặn điều này xảy ra.
Đối phó với vấn đề nhiệt độ
Hầu hết các bóng đèn này đều hỏng khi có sự thay đổi đột ngột về công suất điện. Khi dòng điện cao được cung cấp vào phần giữa của bóng đèn, các đầu mút của nó sẽ vẫn ở mức nhiệt độ thấp hơn. Sự chênh lệch nhiệt độ này tạo ra áp lực cơ học lớn, khiến bóng đèn dễ bị vỡ.
Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ thuận từ nhiệt rất thấp. Điều này giúp bóng đèn không bị nứt vỡ ngay cả khi có sự thay đổi đột ngột về công suất điện.
Ngoài ra, chúng tôi cũng sử dụng sợi carbon thay vì wolfram để làm filamen của bóng đèn. Sợi carbon có khả năng chịu nhiệt tốt hơn. Nó cũng không bị hỏng khi có sự thay đổi đột ngột về điện áp. Chúng tôi cũng chú ý đến độ căng của filamen. Nếu filamen bị lỏng, sẽ tạo ra những điểm nóng, và những điểm nóng này lại khiến bóng đèn bị vỡ. Đơn giản thôi.
Ngăn chặn các hạt bụi
Chúng tôi sử dụng phương pháp hai bước để ngăn chặn các hạt bụi tiếp xúc với các tấm wafer. Đầu tiên, lớp vỏ bên trong bóng đèn được đóng kín trong môi trường chân không cao, nhằm loại bỏ mọi chất bẩn bên trong.
Đối với những môi trường hoạt động có tải trọng cao, chúng tôi cung cấp lớp vỏ bảo vệ bên ngoài. Có thể coi đó như một “bảo hiểm”. Nếu bóng đèn chính bị hỏng, lớp vỏ bảo vệ này sẽ giữ lại mọi thứ.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng việc sử dụng lớp vỏ bảo vệ này sẽ làm giảm hiệu suất truyền sóng hồng ngoại của bóng đèn. Bạn có thể cần tăng công suất điện để duy trì nhiệt độ mong muốn cho bề mặt tấm wafer.
Những chi tiết quan trọng
Những chi tiết nhỏ cũng rất quan trọng. Chúng tôi sử dụng các chi tiết được gia cố chắc chắn để tránh hiện tượng điện arc. Khi có hiện tượng điện arc, nó sẽ tạo ra những điểm nóng, khiến thủy tinh bị hư hỏng.
Hãy đảm bảo rằng dây dẫn được kết nối chặt chẽ. Và đừng quên kiểm tra các quạt làm mát. Nếu hệ thống làm mát bị hỏng, thì dù có sử dụng lớp kính bảo vệ tốt đến đâu cũng không thể ngăn chặn được hiện tượng quá nhiệt.