http://patio-ir-master.com/vi/tags/x%E1%BB%AD-l%C3%BD/ Recent content in Xử Lý on Patio Infrared Heating Masters Hugo vi Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/vi/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:58 +0800 http://patio-ir-master.com/vi/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Bộ gia nhiệt xử lý tấm wafer quang học"></p> <p>Trên tầng lithography, một wafer 300 mm chuyển từ bước coat sang bake theo nhịp takt của dây chuyền. Soft bake ở 90 °C, hard bake ở 110 °C. Photoresist phải hoạt động đồng nhất, lô sau lô trước. Khi hồ sơ nhiệt bị lệch, hậu quả xảy ra ngay lập tức: dịch chuyển CD, bám dính kém, khuyết tật cầu nối — rồi phải làm lại. Bộ gia nhiệt không chỉ là một thiết bị thụ động ở hậu cảnh. Nó là núm điều khiển trực tiếp cho ngân sách nhiệt của photoresist.</p>