http://patio-ir-master.com/zh/tags/%E5%A4%84%E7%90%86%E5%8A%A0%E5%B7%A5/ Recent content in 处理；加工 on Patio Infrared Heating Masters Hugo zh Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/zh/posts/optical-wafer-processing-heater/ Sun, 31 May 2026 23:49:59 +0800 http://patio-ir-master.com/zh/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="光学晶圆处理加热器"></p> <p>在光刻车间，300 mm晶圆从涂胶到烘烤严格按照产线节拍同步进行。软烘烤温度为90 °C，硬烘烤温度为110 °C。光刻胶必须在每批次中表现一致。当热剖面发生漂移，会立即导致后果：CD偏移、附着力差、桥接缺陷，进而需要返工。加热器不仅仅是后台的一个普通设备，而是控制光刻胶热预算的关键调节器。</p>