MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何在不损坏MEMS晶片的情况下将其烘干 烘干MEMS传感器晶片其实需要巧妙地平衡各种因素。必须使用热量来去除水分，而且需要尽快做到这一点。但如果不小心的话，那些极其微小的结构就可能会被破坏。 为了解决这个问题，我们会使用专门的红外加热器。不过，真正的关键在于那些镀有金的反射器。它们能确保热量准确...