http://patio-ir-master.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Patio Infrared Heating Masters Hugo zh Tue, 21 Jul 2026 02:00:46 +0800 http://patio-ir-master.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Tue, 21 Jul 2026 02:00:46 +0800 http://patio-ir-master.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://patio-ir-master.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>如何在不损坏MEMS晶片的情况下将其烘干<br> 烘干MEMS传感器晶片其实需要巧妙地平衡各种因素。必须使用热量来去除水分，而且需要尽快做到这一点。但如果不小心的话，那些极其微小的结构就可能会被破坏。</p>