用于制造红外灯的石英套管

在晶圆厂车间，你对流程了如指掌。90°C 的软烘烤温度，即便偏差半度，也会扰乱光刻胶的剖面，影响关键尺寸（CD）控制。围绕红外灯的石英套管不仅是保护罩——它是确保每一步烘烤重复性的热界面。 核心要点 我们为短波和中波红外灯定制这些套管，以匹配您快速且均匀加热晶圆所需的光谱范围。材料采用高纯度熔融石...