陶瓷红外加热板

在晶圆处理过程中，适宜的低温烘烤温度曲线对于确保光刻胶的尺寸精度以及侧壁形状至关重要。如果温度偏差达到半度，那么就会导致线宽出现偏差，而这种偏差会直接影响到后续的蚀刻工序。因此，我们设计了陶瓷红外线加热器，以此来消除这种误差。 该加热器的核心部分是由高发射率的陶瓷材料构成的，同时还能发出短波红外辐...