Zastavte tříště: Proč je design vaší IR lampy opravdu důležitý
Pokud jste někdy zažili prasknutí IR lampy během provozu polovodičových zařízení při vysoké zátěži, víte přesně, jaké to je. Je to opravdová noční můra.
Nejde jen o to, že se linka zastaví. Jde také o následky – jeden prasklý křemíkový trubicel a najednou je povrch waferu pokryt skleněnými úlomky a kovovým prachem. To znamená okamžitý odstranění lampy do odpadu a hodiny – možná dokonce dny – na čištění komory.
Věnovali jsme hodně času hledání způsobů, jak tomu zabránit.
Proč lampy vlastně praskají
Většinou je to způsobeno tepelným šokem nebo těmi otravnými lokalizovanými horkými body. Abychom tomu zabránili, používáme syntetický křemík vysoké čistoty. Ten se tak málo roztahuje ani smršťuje jako levný křemík, takže vydrží i během intenzivních cyklů zahřívání a chlazení, aniž by praskl.
Další problém představuje vlákno. Pokud se wolframová spirála přiblíží i jen o trochu blíže ke stěnám trubicely, křemík změkne a – prask. Snažíme se udržet tolerance na mírných úrovních, několik mikronů. Je to těsné řešení, ale je to jediný způsob, jak zachovat trubiceli neporušenou.
Udržení pořádku
I s tím nejlepším sklem se mohou věci stát. Proto nabízíme speciální povlaky a integrované ochranné prvky proti tříštím. Můžete je považovat za bezpečnostní síť – pokud dojde k narušení vakuového uzávěru, tyto prvky zabrání úlomkům, aby létaly všude kolem.
Také jsme posílili koncové kryty a použili vysokoteplotní utěsnění. To zajišťuje, že lampa zůstane na místě, i když se stroj vibruje.
Rovnováha
Zde je ten obtížný úsek: chcete vysokou hustotu výkonu, protože potřebujete, aby wafery byly horké – a to okamžitě. Ale když se veškerý ten výkon soustředí do malého prostoru, vzrůstá vnitřní tlak halogenového plynu.
Zde přichází na řadu váš chladicí systém. Pokud je proud vzduchu slabý, držák lampy prostě pohlcuje teplo. Elektrody se přehřívají, životnost lampy klesá a hrozí její prasknutí.
Ještě jeden tip? Použijte k svému zařízení precizní kontrolér s funkcí ochrany proti přetoku proudu. Je to jednoduché řešení, ale zabrání tomu, aby přetok proudu poškodil vlákno a způsobil prasknutí celé lampy.