Hören Sie dem „Glasregen“ ein Ende: Umgang mit Ausfällen der IR-Lampen Jeder, der bereits mit Halbleiterwafern gearbeitet hat, kennt dieses Problem....

Auf der Fertigungsebene sind thermische Abweichungen nicht nur Ineffizienzen – sie reduzieren die Ausbeute. Ein Softbake, das auch nur um ein Grad...