Hören Sie dem „Glasregen“ ein Ende: Umgang mit Ausfällen der IR-Lampen
Jeder, der bereits mit Halbleiterwafern gearbeitet hat, kennt dieses Problem. Man führt einen Prozess unter hohem Druck durch – und plötzlich geht eine IR-Lampe kaputt.
Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten. Es handelt sich dabei um ein echtes Albtraum-Szenario: Wenn eine Quarztube defekt wird, fallen Glassplitter sowie Halogensauerstoff direkt auf die Wafer. Das ist ein totales Chaos.
Deshalb verwenden wir keramische Endkappen.
Wie sie funktionieren
Quarz dehnt sich beim Erhitzen aus und zieht sich wieder zusammen. Wenn hohe Leistungen bereitgestellt werden, wird der Punkt, an dem der Elektrode die Tube berührt, stark belastet. Genau dort bricht die Tube meistens.
Wir setzen daher hochreine keramische Endkappen ein, damit die elektrische Verbindung von dem Quarzkörper getrennt bleibt. Man kann sie als „Sicherheitswand“ betrachten. Falls die Tube dennoch reißt, fangen die keramischen Endkappen die Splitter auf. So verhindern sie, dass die Lampe einfach in den Prozessraum fällt.
Stabile Arbeitsbedingungen
Wir entwickeln diese Emittenten so, dass sie hohen Temperaturen standhalten können. Die Keramik kann solche extremen Temperaturwechsel überstehen, ohne zu brechen. Dadurch wird verhindert, dass ein Funke zwischen den Anschlüssen entsteht.
Kein Flackern mehr, keine vorzeitige Zerstörung der Lampen. Einfach nur eine stabile, saubere elektrische Verbindung.
Aber es gibt einen Haken
Diese Endkappen machen den Emittenten etwas länger. Man muss also sicherstellen, dass der Lampenkörper genügend Platz hat. Wenn die Tube zu fest eingebaut wird, entsteht ein neuer Spannungspunkt – und der ganze Sinn der keramischen Endkappen geht verloren.
Was das für Ihre Produktion bedeutet
Am Ende geht es doch um Ihre Wafer. Wenn man verhindert, dass Glassplitter in die Anlage gelangen, wird die Kontamination bereits im Keim erstickt. Der Reinraum bleibt sauber. Man verbringt weniger Zeit damit, die Anlagen zu reinigen, und kann stattdessen mehr Zeit damit verbringen, Produkte herzustellen.
So wird aus einer potenziellen Katastrophe eine einfache Lösung. Man wechselt einfach die Lampe aus, räumt den Bereich auf und kann die Produktion wieder fortsetzen. Einfach.