Wie man MEMS-Wafern trocknet, ohne sie zu beschädigen Das Trocknen von MEMS-Sensorwafern erfordert ein gewisses Gleichgewicht. Man benötigt Wärme –...

Wie man verhindert, dass die Lampen zur Explosion führen Seien wir ehrlich: Hochwertige Infrarotlampen in einem Raum voller flüchtiger Chemikalien zu...

#Den Albtraum stoppen: Die Wafer während des Hochlastheizvorgangs sauber halten Wer déjà einmal in der Massenproduktion von Halbleitern gearbeitet...

Stoppen Sie die Glassplitter: Warum die Konstruktion Ihrer Infrarotlampe wirklich wichtig ist Wenn Ihnen schon einmal eine Infrarotlampe während...

Temperatursensoren in Wafer-Bearbeitungstools: Wie wir durch 100%-ige Hochspannungsprüfung die elektrische Sicherheit gewährleisten In...

In der Fertigungshalle wartet das Laser-Schneidverfahren nicht auf irgendetwas. Wenn die Heizung zum Aufwärmen der Wafer nicht zuverlässig...

In der Fertigungsstätte ist die Aushärtung des Polyimidmaterials kein Schritt, den man einfach abhaken kann. Es handelt sich dabei um einen...

Auf der Lithografie-Ebene kann eine Drift von 0,3°C über den Wafer während des Softbakes das Fotolackprofil um Nanometer verschieben – und genau das...

Out on the fab floor, ein einzelner Wasserfleck nach dem CMP reicht aus, um die Ausbeute zu beeinträchtigen. Konventionelles Trocknen hinterlässt...

Auf dem Fertigungsboden ist ein verpasster Timer im Wafer-Trockenschrank nicht nur ein Produktionsstopp. Er kann das Photoresist-Softbake...

Auf der Lithografie-Etage läuft ein 300 mm Wafer im Takt der Linie vom Coat- zum Bake-Schritt. Softbake bei 90 °C, Hardbake bei 110 °C. Der...