در فرآیند لیتوگرافی، تغییر ۱ درجه سانتیگراد در دمای پخت، میتواند ابعاد حیاتی قطعات را تحت تأثیر قرار دهد؛ این میزان تغییر کافی است تا کل محموله مورد استفاده نامناسب شود، بدون اینکه متوجه آن شویم. فرآیند پخت نرم، الگوی فوتورزیست را تعیین میکند؛ در حالی که فرآیند پخت سخت، آن الگو را ثابت نگه میدارد. هیچکدام از این فرآیندها بیفایده نیستند، مگر اینکه گرما در سراسر ویفر یکنواخت باشد؛ نه فقط در نقاط خاصی.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما لامپهای مادونقرمزی را برای پخت فوتورزیست انتخاب میکنیم؛ این لامپها دارای ساختاری از جنس کوارتز هستند و امواج کوتاه را منتشر میکنند. این امر باعث گرم شدن سریع و موضعی ویفر میشود، بدون اینکه فشار زیادی بر روی سطح ویفر وارد شود. یکنواختی دما در سراسر منطقه پخت، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ ما این مقدار را با استفاده از ترموکوپلها اندازهگیری میکنیم. مواد مورد استفاده نیز باید با استانداردهای لازم مطابقت داشته باشند؛ همچنین، سیستم باید بتواند دما را در محدوده مشخصی نگه دارد. مصرف انرژی نیز با استفاده از کنترل پالسی و منعکسکنندههای مناسب، کنترل میشود؛ این امر باعث کاهش تغییرات دما میشود.
چرا این سیستم برای تولیدات انبوه مناسب است؟
در تولید، یکنواختی ابعاد حیاتی قطعات، کاهش تعداد کارهای تکراری، و کیفیت قابل پیشبینی از اهمیت بالایی برخوردارند. این سیستم باعث کاهش زمان تولید و حفظ الگوی فوتورزیست در هر محموله میشود. لامپها نیز میتوانند ۲۴ ساعته کار کنند، بدون اینکه کاهشی در عملکردشان ایجاد شود. ما شاهد بودهایم که این لامپها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کردهاند، بدون اینکه کمتر از ۵٪ کاهش در قدرت آنها رخ دهد. نگهداری این لامپها نیز آسانتر میشود، و زمان توقف غیرمنتظره نیز کاهش مییابد. در نتیجه، قابلیت تکرارپذیری این سیستم بسیار بالاست، زیرا کنترل دما باعث میشود فوتورزیست در محدوده مشخصی باقی بماند.
چه چیزهایی را باید با تجربه یاد گرفت؟
برای نصب این سیستم، باید تنظیمات نوری آن صحیح انجام شود؛ همچنین، باید از منابع تغذیه مناسب برای حفظ ثبات طیف نوری استفاده شود. باید مواد مورد استفاده برای ساخت لامپها را بررسی کرد؛ اگر این مواد با یکدیگر سازگار نباشند، تغییرات دمایی در سراسر ویفر ایجاد خواهد شد. این لامپها نیاز به ضدحرارتی با کیفیت بالا دارند؛ در غیر این صورت، نقاط گرم در سطح لامپ ایجاد خواهد شد. همچنین، باید زمانهای کالیبراسیون را به درستی تنظیم کرد تا یکنواختی دما در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود.