دیگر نیازی نیست دیوارههای ماشین را گرم کنید!
اگر تا به حال با تجهیزات نیمههادی کار کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. شما نیاز دارید که داخل دستگاه گرم باشد، اما نمیخواهید کل بدنه دستگاه به یک رادیاتور عظیم تبدیل شود. گرمکنهای معمولی در واقع همان بمبهای گرمایی هستند؛ آنها انرژی را به همه جا پخش میکنند. این امر باعث میشود که اپراتورها دچار سوختگی شوند، و دمای فرآیند نیز نامنظم شود؛ زیرا خود دستگاه تمام انرژی گرمایی را جذب میکند.
این واقعاً مشکل بزرگی است. اما راه بهتری برای انجام این کار وجود دارد.
راه حل، استفاده از تابش مادون قرمز جهتدار است.
فکر کنید به جای لامپ، از یک چراغ قوه استفاده میکنید؛ هوای گرم فقط در اطراف حرکت میکند، اما تابش مادون قرمز در خط مستقیم حرکت میکند. ما از فرستندههای موج کوتاه استفاده میکنیم که انرژی را مستقیماً به سمت ویفر یا سطح مورد نظر هدایت میکنند.
نکته جالب اینجاست که انرژی، هوا را نادیده گرفته و مستقیماً وارد سطح مورد نظر میشود. بنابراین، میتوانید یک منطقه گرم در وسط دستگاه داشته باشید، اما دیوارههای دستگاه همچنان خنک باقی خواهند ماند. این روش باعث میشود که انرژی صرف فریم فلزی دستگاه نشود، و انرژی دقیقاً در جایی که لازم است، تخصیص یابد.
حفظ تمیزی دستگاه
وقتی در یک اتاق تمیز کار میکنید، نمیتوانید هر گرمکنی را در آنجا استفاده کنید. باید به ذرات و گازهایی که از دستگاه خارج میشوند، توجه کنید. برای حفظ تمیزی دستگاه، از غلافهای کوارتز با خلوص بالا و لولههای پر از هالوژن استفاده میکنیم.
میتوانیم توان و ولتاژ را متناسب با نیازهای شما تنظیم کنیم. اگر نیاز دارید که فرآیند به سرعت شروع شود، استفاده از لولههای با چگالی بالا راه حل مناسبی است. فقط یادتان باشد که منبع تغذیه شما بتواند این تغییرات ناگهانی را تحمل کند؛ در غیر این صورت، مشکلات دیگری پیش خواهد آمد.
معایب و راهحلها
ما این تجهیزات را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین تجهیزات قدیمی کرد؛ بنابراین کار سیمکشی نیز ساده خواهد بود. اما باید صادق باشم: این روش جادویی نیست.
دقت بسیار مهم است؛ اگر منعکسکنندهها کثیف باشند یا زاویهها کمی اشتباه باشد، نقاط گرمی روی دیوارههای دستگاه ایجاد خواهد شد. باید زاویهها را دقیقاً درست تنظیم کنید؛ در غیر این صورت، انرژی گرما به جای ویفر، به دیوارهها برخورد خواهد کرد.
اما وقتی که این تنظیمات درست انجام شود، همه چیز تغییر میکند؛ اپراتورها دیگر در معرض خطر سوختگی قرار نخواهند گرفت، و پروفایل حرارتی دستگاه نیز ثابت خواهد ماند. این روش، روشی سادهتر و هوشمندانهتر برای مدیریت گرما است.