על גבי הוופר, פרופיל הטמפרטורה במהלך תהליך האפייה הרך הוא זה שקובע את הממדים החיוניים של הפוטורזיסט ואת צורת הדפנות שלו. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה עלול לגרום לשינוי ברוחב הקווים שנוצרים במהלך תהליך החריטה. יצרנו את לוחות החימום שלנו מחומרים קרמיים, כדי להפחית את השינויים האלו.
הליבה של הלוחות היא חומר קרמי בעל רמת פליטה גבוהה, בשילוב עם קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים – כך שניתן לחמם במהירות, תוך שמירה על מסה תרמית מינימלית. ברמת הוופר, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והדיוק של נקודת הטמפרטורה נשמר בטווח של ±0.2°C, גם בתנאי פעולה 24/7.
הלוחות האלו יכולים לפעול גם בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100. החומרים הקרמיים האטומים והחומרים בעלי פליטה נמוכה מאפשרים שליטה טובה בכמות החלקיקים, כך שאין ייצור של חלקיקים במהלך תהליכי החימום. התגובה של הלוחות מהירה – ברמה של מילישניות – כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת, ללא חריגות.
בין אם מדובר במערכות ליתוגרפיה או בתחנות אפייה עצמאיות, שליטה טורמית זו מביאה לשליטה יציבה בממדים של הפוטורזיסט, לפחות פגמים בפוטורזיסט, ולברירה טובה יותר במהלך תהליך החריטה. ניתן לבצע תהליכי אפייה מהירים יותר, מבלי לפגוע באיכות התהליך, וכן לחסוך באנרגיה בזכות החימום היעיל. השליטה הטורמית נשמרת גם בין תהליכים שונים, כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה יציבה.
יש להתחשב במגבלות הטכניות: הלוחות דורשים מערכות תמיכה בעלות מסה תרמית נמוכה, וכן אספקת חשמל נקייה, כדי שהמעגל התרמי יישאר שלם. טווח הטעויות בהתקנה הוא קטן – עד 0.1 ממ – ויש לבחור חומרים מתאימים לשליטה בפליטת גזים.
אם ההתאמה נעשית כראוי, הלוחות יכולים להתחבר בצורה טובה למערכות הקיימות, ולספק שליטה טובה בטמפרטורה, כפי שדרוש לתהליכי הליתוגרפיה והחריטה.