כיצד לייבש את שבבי ה-MEMS מבלי לפגוע בהם
ייבוש שבבי החיישנים של MEMS הוא משימה שדורשת איזון עדין. יש צורך בחום – ובחום מהיר – כדי להסיר את הלחות, אך אם לא נזהרים, עלולים לפגוע במבנים העדינים האלו.
כדי לעשות זאת כראוי, אנו משתמשים בחיממים באינפרה-אדום. אך הסוד האמיתי נעוץ במחזירי האור המצופים בזהב. הם מבטיחים שהאנרגיה תפגע דווקא בשבב, ולא רק תחמם את פנים המכשיר.
למה אנו משתמשים בזהב (ולא באלומיניום)
מחזירי אור רגילים מאלומיניום עובדים, אך הם סופגים יותר מדי אנרגיה באינפרה-אדום. זה מבזבז אנרגיה. אנו משתמשים בציפוי זהב באיכות גבוהה, מכיוון שהוא מסוגל להחזיר את אור האינפרה-אדום למקום הנכון. כך נוצר קרן חום ממוקדת יותר. ומכיוון שהאנרגיה ממוקדת כל כך, ניתן להפחית את ההספק הכולל של המערכת, ועדיין להגיע לטמפרטורה הרצויה על גבי הסיליקון. זה יעיל יותר.
ניהול החום
כאשר מגדירים מערכת ייבוש, בדרך כלל רוצים פליטת חום קצרה אך אינטנסיבית. מחזירי הזהב מאפשרים זאת, וזה בדיוק מה שנחוץ לתהליכי ייבוש מהירים.
אך יש להיזהר: יש לעקוב אחר מעמד השבבים. מכיוון שהחום ממוקד כל כך, עלולים להיות אזורים חמים במיוחד, שעלולים לפגוע בחומרים.
בנוסף, אל תהססו להשתמש במאווררי קירור. אם הם לא חזקים מספיק כדי לטפל בחום שנוצר בתוך החדר, הטמפרטורה הכוללת עלולה לעלות. כאשר זה קורה, האמינות של התהליך יורדת.
שמירה על המערכת תקינה
אנו שומרים על החיממים קטנים, כך שהם יכולים להתאים לחדרים בוואקום או באווירה רגילה.
עם זאת, יש להיזהר: שכבת הזהב דקה מאוד. אם עובדים עם גזים מקורקעים, יש להגן על מחזירי האור, אחרת החומרים הכימיים עלולים לפגוע בהם.
אני ממליץ לבדוק באופן קבוע האם יש סדקים או שינויי צבע. אם שכבת הזהב מתקלקלת, היעילות של המערכת יורדת. נאלצים להגדיל את ההספק, וזה עלול לגרום לשחיקה מוקדמת של החיממים.