במפעלי האריזה, שני גורמים פוגעים באיכות המוצר: הלחות שנשארת לאחר הניקוי, וחומר הפוטורזיסט שלא עבר תהליך ייבוש מלא. המים הכלואים הופכים לפגמים במוצר כאשר החומר האורז את המוצר נחשף לחום. חומר הפוטורזיסט שלא עבר ייבוש מלא יוצר שריטות זעירות, שעלולות להפוך לפגמים גדולים. מה שנחוץ הוא תהליך תרמי שיסיר את המים מבלי לפגוע בשכבות הדקות של החומר, ושיאפשר שליטה מדויקת בתהליך הייבוש.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגלאים באור קרוב-אינפרא-אדום, שמסוגלים לתגובה בזמן קצר מאוד, וכך להעביר אנרגיה ישירות אל המים ואל שכבת הפוטורזיסט. על גבי שבב בגודל 300 ממ, המערכת שומרת על רמת טמפרטורה אחידה בטווח של ±0.1°C, והשליטה בטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.2°C לאורך אלפי סיבובים. החומרים שמרכיבים את המערכת מתאימים לחדרי ניקיון מדרגה 1–100: עיצוב שמפחית את כמות החלקיקים, חומרים עם פליטת גזים נמוכה, ושום יצירה של חלקיקים במהלך תהליך העיבוד. כמות החלקיקים נשארת מתחת לסף המותר, בזכות תהליכי ייבוש שונים.
למה זה עובד בפועל? גלאי ה- NIR מייבשים את השבבים בתוך שניות, כך שזמן העיבוד פוחת מבלי שטמפרטורת השבב תעלה מדי. תהליך הייבוש הרך שומר על רמת טמפרטורה קבועה, מה שמבטיח איכות טובה של המוצר. תהליך הייבוש האינטנסיבי מבטיח קשרים יציבים בין שכבות החומר, מה שמשפר את חוזק השבבים ומפחית את שיעור הפגמים. התוצאה היא פחות עבודות תיקון, איכות מוצר טובה יותר, וצריכת אנרגיה נמוכה יותר לעומת תנורי חימום רגילים. מערכות אלו יכולות לפעול 24/7 עם זמן עצירה מינימלי, בזכות מעקב רציף אחר התהליך ומודולים שמאפשרים החלפה מהירה של החלקים.
מה חשוב לזכור? גלאי ה- NIR דורשים קו ראייה ברור, והמרחק בין הגלאי לשבב חייב להיות קבוע כדי לשמור על אחידות. שליטה בטמפרטורה תלויה במדידות מדויקות ובטבלאות שמתאימות לסוג השבב. אנו מספקים נהלי עבודה מוכנים עבור שכבות חומר נפוצות, אך שכבות חומר חדשות דורשות בדיקה קצרה כדי לקבוע את ההגדרות הנכונות. ההתקנה פשוטה – רק צורך באספקת חשמל יציבה ובקרקע מבודדת כדי לשמור על יציבות המערכת.
בקיצור: זו שליטה תרמית שמתאימה לתהליכי ייבוש שבבים ועיבוד חומרי פוטורזיסט – שליטה אמינה, נקייה ומהירה.