पैकेजिंग उत्पादन प्रक्रिया में, दो चीजें उत्पादन दर को कम कर देती हैं – सफाई के बाद भी वहाँ मौजूद नमी, एवं वह फोटोरेजिस्ट जो पूरी तरह से सूख नहीं पाता। गर्मी के कारण वहाँ मौजूद पानी “पॉपकॉर्न” जैसी खामियों का कारण बनता है। अधूरी तरह सूखा हुआ फोटोरेजिस्ट, काटने की प्रक्रिया में खराब हो जाता है, जिससे सूक्ष्म खरोंचें बन जाती हैं; ऐसी खरोंचें अंततः अपशिष्ट में बदल जाती हैं। इसलिए ऐसी थर्मल प्रक्रिया की आवश्यकता है, जिससे पानी निकाला जा सके, बिना पतली परतों पर कोई दबाव पड़े, एवं फोटोरेजिस्ट की संरचना भी नियंत्रित तरीके से निर्धारित की जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम उप-सेकंड की गति से कार्य करने वाले शॉर्ट-वेव नियर-इन्फ्रारेड (NIR) एमिटरों का उपयोग करते हैं; ऐसे एमिटर पानी एवं फोटोरेजिस्ट फिल्म में ऊर्जा पहुँचाते हैं। 300 मिमी आकार के वेफरों पर, यह सिस्टम ±0.1°C की सीमा में तापमान नियंत्रण करता है; हजारों चक्रों में भी तापमान नियंत्रण ±0.2°C की सीमा में ही रहता है। यह हार्डवेयर “क्लीनरूम क्लास 1–100” के मानकों के अनुरूप है – कणों की मात्रा कम है, उत्पादन प्रक्रिया में कोई गैस निकलती नहीं है, एवं मानक वेफर हैंडलिंग प्रक्रियाओं के दौरान कोई कण नहीं बनता। “सॉफ्ट बेक”, “हार्ड बेक” एवं “प्री-पैकेजिंग ड्राइंग” प्रक्रियाओं के दौरान भी कणों की मात्रा नियंत्रित रहती है।
व्यावहारिक रूप से यह क्यों कारगर है?
NIR तकनीक के कारण वेफर सेकंडों में ही सूख जाते हैं; इससे उत्पादन समय कम हो जाता है, एवं वेफर का तापमान भी अत्यधिक नहीं बढ़ता। “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया में तापमान नियंत्रित रहता है, जिससे वेफर की सतह समान रहती है। “हार्ड बेक” प्रक्रिया में फोटोरेजिस्ट पूरी तरह सूख जाता है, जिससे वेफरों की गुणवत्ता में सुधार होता है। इसके परिणामस्वरूप पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, उत्पादन दर स्थिर रहती है, एवं प्रति बैच में ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। ये उपकरण 24/7 कार्य करते हैं, एवं निरंतर ऑटोमेटेड निगरानी एवं त्वरित मरम्मत सुविधाओं के कारण बिना किसी रुकावट के कार्य करते हैं।
ध्यान रखने योग्य बातें
NIR तकनीक में दृष्टि-रेखा आवश्यक है; एमिटर एवं वेफर के बीच की दूरी भी निश्चित एवं पुनरावर्ती होनी चाहिए, ताकि तापमान नियंत्रण संभव हो सके। तापमान नियंत्रण, कैलिब्रेटेड पाइरोमेट्री एवं सब्सट्रेट के अनुरूप एमिसिविटी टेबलों पर निर्भर है। हम सामान्य फिल्मों के लिए पहले से ही प्रमाणित विधियाँ प्रदान करते हैं; लेकिन नई फिल्मों के लिए तो सेटपॉइंट निर्धारित करने हेतु थोड़ा परीक्षण आवश्यक है। इसकी स्थापना मानक ट्रैकों पर आसानी से की जा सकती है – बस शुद्ध बिजली एवं अलग ग्राउंडिंग ही पर्याप्त है, ताकि EMI स्थिर रहे।
संक्षेप में: यह तो वेफरों को सूखाने एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण हेतु उपयुक्त थर्मल नियंत्रण तकनीक है – यह पुनरावर्ती, स्वच्छ एवं तेज़ है।