बेहतर सेमीकंडक्टर उपचार हेतु रहस्य: सोने से लैस आईआर लैंप
उद्योग, शीशा-रहित एवं पर्यावरण-अनुकूल उपचार विधियों की ओर तेजी से बढ़ रहा है। यह तो अच्छी बात है, लेकिन ऐसी विधियों के कारण मशीनों को संचालित करने वालों को कठिनाइयों का सामना करना पड़ता है।
अधिकांश कारखाने अभी भी कंवेक्शन ओवनों का उपयोग कर रहे हैं। ये वास्तव में विशाल हीटर हैं, जो कमरे की हवा को गर्म करने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा खर्च करते हैं। यह अकुशल तरीका है। इसीलिए हमने सोने से लैस आईआर लैंपों का उपयोग शुरू किया। इन लैंपों में ऊर्जा सीधे सब्सट्रेट पर ही लगती है… तेजी से, आसानी से।
सोने का उपयोग क्यों?
यदि आप सामान्य क्वार्ट्ज लैंपों का उपयोग करते हैं, तो वे विभिन्न तरंगदैर्घ्यों वाली विकिरण तरंगें उत्पन्न करते हैं। लेकिन सेमीकंडक्टर उपचार हेतु ऐसा करना उचित नहीं है… क्योंकि ऐसा करने से वेफर नष्ट हो सकता है। इसके लिए ऐसी तरंगदैर्घ्यों की आवश्यकता है जो फोटोरेसिस्ट/चिपकने वाले पदार्थों को पार कर सकें।
इसलिए हमने क्वार्ट्ज लैंपों पर पतली सोने की परत लगाई। यह एक तरह का फिल्टर है… यह अनावश्यक लंबी तरंगदैर्घ्य वाली विकिरण तरंगों को वापस भेज देता है, एवं ऊर्जा को छोटी तरंगदैर्घ्य वाले आईआर बैंड में ही भेजता है। इससे वेफर पर अधिक ऊर्जा पहुँचती है… इससे उपचार प्रक्रिया तेज हो जाती है।
लेकिन इसका क्या नुकसान है?
इन लैंपों से बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न होती है… इसलिए कूलिंग सिस्टम पर बहुत दबाव पड़ता है। यदि हवा का प्रवाह सही न हो, तो लैंपों के अंतिम हिस्से उस ऊर्जा को अवशोषित कर लेते हैं… और लैंप जल्दी ही खराब हो जाते हैं। आप सिर्फ वॉटेज बढ़ाकर ही काम नहीं कर सकते… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपका सिस्टम उस ऊर्जा को दूर कर सके।
प्रक्रिया को सरल बनाना
शीशा-रहित जोड़ने वाले पदार्थों हेतु उच्च तापमान एवं सटीक तापीय नियंत्रण आवश्यक है। आईआर लैंप इस कार्य में मदद करते हैं… क्योंकि इनमें विभिन्न लैंपों के लिए अलग-अलग ऊर्जा स्तर निर्धारित किए जा सकते हैं… इससे वेफर पर “कोल्ड स्पॉट” नहीं बनते।
इसके अलावा, अब आप विलायक-आधारित हीटिंग माध्यमों का उपयोग नहीं करेंगे… कोई VOC नहीं, कोई हानिकारक उत्पाद नहीं… यह पुराने, प्रदूषणकारी सिस्टमों का एक स्वच्छ विकल्प है। आप इन लैंपों को एससीआर कंट्रोलर से जोड़ सकते हैं… अपनी आवश्यकताओं के अनुसार सेटिंग्स कर सकते हैं… और रेडिएंट ऊर्जा ही काम करेगी।