फैब फ्लोर पर, पॉलीइमाइड के सूखने की प्रक्रिया को कोई विशेष चरण के रूप में नहीं देखा जाता; बल्कि यह तो ऊष्मा-संबंधी प्रक्रियाओं का ही हिस्सा है। यदि तापमान में थोड़ा भी अंतर हो जाए, तो वेफर की सतह समतल नहीं रहेगी, चिपों के बीच आपस में चिपकने की क्षमता कम हो जाएगी, या वेफर में तनाव पैदा हो जाएगा। आजकल के उच्च-स्तरीय उत्पादन प्रक्रियाओं में ऐसी गलतियों के लिए कोई जगह ही नहीं है।
पॉलीइमाइड के सूखने हेतु आवश्यक शर्तें
पॉलीइमाइड के सूखने हेतु स्थिर एवं पुनरावर्ती ऊष्मा आवश्यक है। हम वेफर के स्तर पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखते हैं, ताकि पूरी सतह पर समान ऊष्मा-प्रभाव पड़े। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊष्मा, पॉलीइमाइड द्वारा अवशोषित हो जाती है; इससे ऊष्मा-प्रदान करने में लगने वाला समय कम हो जाता है, एवं किसी भी जगह पर अतिरिक्त ऊष्मा नहीं पड़ती।
क्लीनरूम क्लास 1–100 के साथ संगतता
डिज़ाइन में ही क्लीनरूम क्लास 1–100 के साथ संगतता सुनिश्चित की गई है। कम गैस-उत्सर्जन वाली सामग्रियों, सील्ड चैंबरों, एवं आंतरिक फिल्टरिंग के कारण लंबे समय तक वेफर पर कणों की संख्या स्थिर रहती है। “शून्य कणों” की अवधारणा केवल एक घोषणा ही नहीं, बल्कि एक अनिवार्य शर्त है; इसकी निगरानी लगातार की जाती है।
यह प्लेटफॉर्म क्यों उपयोगी है?
यही सिस्टम वेफर को सुखाने, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने, पैकेजिंग प्रक्रियाओं, एवं सफाई के बाद वेफर को सुखाने का काम भी करता है… बिना ऊष्मा-प्रणाली को पुनः सेट करने की आवश्यकता के। फोटोरेजिस्ट के तापमान पर अच्छा नियंत्रण होने से CD मान में सुधार होता है, एवं प्रत्येक वेफर पर समान गुणवत्ता प्राप्त होती है।
पुनरावृत्ति की क्षमता
प्रत्येक बार उत्पादन करने पर होने वाली त्रुटियाँ कम हो जाती हैं, उत्पादन-चक्र में सुधार होता है, एवं उत्पादन-दर भी बेहतर हो जाती है। ऊर्जा-उपयोग में भी कमी आती है, क्योंकि इन्फ्रारेड ऊष्मा सीधे ही फिल्म को गर्म करती है, न कि चैंबर की दीवारों को। यह प्लेटफॉर्म 24/7 ऑपरेशन हेतु उपयुक्त है… एवं इसकी रखरखाव-प्रक्रियाएँ भी आसान हैं।
ध्यान में रखने योग्य बातें
इन्फ्रारेड ऊष्मा केवल दृश्य-रेखा में ही कार्य करती है… इसलिए स्टैक की ऊँचाई एवं विकिरण-क्षमता महत्वपूर्ण है। हम विशिष्ट पॉलीइमाइड-मोटाई एवं उसकी नीचे की परतों के लिए आवश्यक तापमान-प्रोफ़ाइल को पहले ही निर्धारित कर लेते हैं।
इस प्लेटफॉर्म का आकार छोटा है, एवं इसका एकीकरण भी आसान है… लेकिन इंस्टॉलेशन से पहले ही बिजली, वेंटिलेशन, एवं क्लीनरूम-संबंधी सुविधाओं को ठीक कर लेना आवश्यक है… ताकि इंस्टॉलेशन के दौरान कोई रुकावट न हो।