फ़ैब फ़्लोर पर, वेफर ड्राइंग ओवन में छूटी हुई टाइमर सिर्फ एक लाइन स्टॉप नहीं है। यह फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक को भूखा रख सकता है, सुखाने के दौरान एक स्किन बना सकता है, और यह उत्पादन डेटा में अवशिष्ट सॉल्वेंट या पैटर्न दोष के रूप में दिखाई दे सकता है। हमने अपने टाइमर-सक्षम वेफर ड्राइंग ओवन को इन थर्मल स्टेप्स को लॉक करने और दोहराने के लिए बनाया है। टाइमिंग और तापमान दोनों लिथोग्राफी और वेफर तैयारी में कोई समझौता नहीं हैं।
इसके अंदर एक थर्मल स्टैक है जो काम के लिए मेल खाता है। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड उत्सर्जक तेज़, सीधे जुड़े हीटिंग प्रदान करते हैं, जिसमें बैच के दौरान वेफर स्तर की समानता ±0.1°C होती है। एकीकृत क्वार्ट्ज चेंबर्स और HEPA-ग्रेड रीसर्कुलेशन फ़िल्ट्रेशन कण उत्पादन को शून्य पर रखते हैं, ताकि आप क्लीनरूम क्लास 1–100 में बिना चिंता के काम कर सकें। टाइमर एक सुविधा नहीं है। यह एक प्रक्रिया इंटरलॉक है जो सॉफ्ट बेक और पोस्ट-क्लीन सुखाने के लिए सटीक ड्वेल को मजबूर करता है, थर्मल बजट को बनाए रखता है और साइकिल-से-साइकिल ड्रिफ्ट को समाप्त करता है।
यह प्रैक्टिस में आपको यह प्राप्त होता है: फोटोरेसिस्ट बेक प्रोफाइल जो लक्ष्यों को सेकंड में हिट करते हैं, जिनकी दोहरानशीलता CD नियंत्रण को स्थिर रखती है और फिर से काम करने की मात्रा को कम करती है। ड्राई साइकिल कम नमी बनाए रखते हुए समाप्त होती हैं, ताकि आप सतह को नुकसान पहुँचाए बिना वेफर्स को तेजी से आगे बढ़ा सकें। ऊर्जा उपयोग घटता है क्योंकि ओवन सेटपॉइंट को तेजी से हिट करता है और इसे बिना ओवरशूट के बनाए रखता है, और अपटाइम ठोस रहता है क्योंकि डिज़ाइन 24/7 संचालन को संभालता है और बैच के बीच तेजी से ठंडा हो जाता है।
स्थापना सीधी है, लेकिन अपनी उपयोगिताओं की योजना बनाएं। ओवन को एक समर्पित पावर सर्किट और पर्ज और निकासी पथ के लिए साफ, सूखे संकुचित वायु की आवश्यकता होती है। टाइमर को आपके होस्ट कंट्रोलर से मिलाना सरल है। फिर भी, योग्यता के दौरान, अपनी रेज़िस्ट विक्रेता की बेक वक्र के खिलाफ रेसिपी टाइमिंग को मान्य करें। कुछ फॉर्मुलेशन ramp edge के प्रति केवल सोखने की तुलना में अधिक संवेदनशील होते हैं।