सिरेमिक इन्फ्रारेड हीटर पैनल

वेफर की सतह पर, कम तापमान पर होने वाली भट्ठी-प्रक्रिया ही फोटोरेजिस्ट के आवश्यक आयामों एवं साइडवॉलों की संरचना को नियंत्रित करती है। थोड़ा सा भी...