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ऑप्टिकल वेफर प्रोसेसिंग हीटर

ऑप्टिकल वेफर प्रोसेसिंग हीटर

लिथोग्राफी फ्लोर पर, 300 mm वेफर लाइन के टैक्ट के साथ कोट से बेक तक लॉकस्टेप में बहता है। सॉफ्ट बेक 90 °C पर, हार्ड बेक 110 °C पर। फोटोरेज़िस्ट को...
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