Cara Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Merusaknya
Mengeringkan wafer sensor MEMS membutuhkan kehati-hatian yang tinggi. Diperlukan panas yang cukup untuk menghilangkan kelembapan, tetapi jika tidak berhati-hati, struktur mikro yang sangat halus tersebut bisa rusak.
Untuk melakukannya dengan baik, kita menggunakan pemanas inframerah khusus. Namun, rahasianya terletak pada reflektor yang dilapisi emas. Reflektor ini memastikan bahwa energi panas benar-benar sampai ke permukaan wafer, buk hanya menghangatkan bagian dalam mesin saja.
Mengapa kita menggunakan emas (bukan aluminium)?
Reflektor aluminium biasa memang cukup efektif, tetapi ia menyerap terlalu banyak energi inframerah. Hal ini tentu saja merupakan pemborosan energi. Kita menggunakan lapisan emas berkualitas tinggi karena lapisan ini mampu memantulkan cahaya inframerah tepat ke tempat yang dibutuhkan. Dengan demikian, intensitas panas yang dihasilkan menjadi lebih tinggi. Karena energi panasnya begitu terfokus, kita dapat menurunkan daya total sistem tersebut, namun tetap mendapatkan suhu permukaan yang diinginkan pada silikon. Cara ini jauh lebih efisien.
Mengelola panas
Saat membangun sistem pengeringan, kita membutuhkan pancaran panas yang intens dan singkat. Reflektor emas memberikan intensitas panas yang tinggi di titik fokus, yang sesuai untuk proses pengeringan yang cepat.
Namun, perlu berhati-hati: pastikan pengangkut wafer berada dalam kondisi aman. Karena panasnya sangat terfokus, bisa saja terjadi titik panas yang berlebihan, sehingga bahan-bahan tersebut bisa rusak. Jangan lupa juga memperhatikan kipas pendingin. Jika kipas tersebut tidak cukup kuat untuk mengatur suhu di dalam ruang pengeringan, suhu sekitar akan naik. Hal ini akan mengganggu proses pengeringan.
Memastikan sistem tetap berfungsi dengan baik
Kita menggunakan pemanas yang berukuran kecil agar mudah dimasukkan ke dalam ruang vakum atau ruang bertekanan normal. Namun, perlu diingat bahwa lapisan emasnya sangat tipis. Jika digunakan di lingkungan yang penuh gas korosif, lapisan emas tersebut bisa rusak. Saya sarankan untuk memeriksa secara rutin apakah ada kerusakan pada lapisan emas tersebut. Jika lapisan emas mulai rusak, efisiensi sistem akan menurun. Anda perlu meningkatkan daya pemanas untuk menggantikan efisiensi yang hilang, dan hal ini akan mempercepat kerusakan lampu pemanas.