왜 욕실에는 IP65 등급의 적외선 히터를 사용하는가? 보통 욕실에 있는 일반적인 ‘램프 형태의 히터’들은 정작 필요할 때마다 고장이 나곤 하죠. 이건 우연이 아닙니다. 그런 히터들은 욕실의 습기와 증기에 견딜 수 없도록 설계되지 않았기 때문입니다. 그래서 우리는...

Fab 라인에서 RTP 챔버 내 단 한 번의 열 변동은 열 예산을 순식간에 소진시킬 수 있다. 포토레지스트 프로파일이 불안정해지고, 라인 폭 제어가 흔들리며, 수율에 영향을 준다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하고 사이클마다 반복 가능한 열을 제공하기 위해 RTP 할...