진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

진공 챔버를 가열하는 것을 그만두고, 대신 웨이퍼를 가열하세요. 반도체 공장에서 일해본 사람이라면 이 문제를 잘 알 것입니다. 웨이퍼의 온도를 높여야 하지만, 전체 챔버가 오븐처럼 변하는 것은 원하지 않습니다. 일반적인 적외선 램프는 열을 모든 방향으로 방출합니다....