Cara Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Merosakkannya
Mengeringkan wafer sensor MEMS memerlukan keseimbangan yang tepat. Anda memerlukan haba yang cukup untuk menghilangkan kelembapan, tetapi jika tidak berhati-hati, struktur mikro yang halus ini boleh rosak.
Untuk mencapai hasil yang baik, kami menggunakan pemanas inframerah khusus. Namun, rahsianya terletak pada reflektor yang dilapisi emas. Reflektor ini memastikan tenaga haba sampai ke permukaan wafer, bukannya hanya memanaskan bahagian dalam mesin.
Mengapa kami menggunakan emas (bukan aluminium)
Reflektor aluminium biasa memang boleh digunakan, tetapi ia menyerap terlalu banyak tenaga inframerah. Ini merupakan pembaziran tenaga.
Kami memilih lapisan emas yang berkualiti tinggi kerana ia sangat efektif dalam memantulkan cahaya inframerah ke tempat yang diperlukan. Ini membantu mencipta pancaran haba yang lebih terfokus. Dengan cara ini, anda boleh mengurangkan kuasa sistem secara keseluruhan, namun masih dapat mencapai suhu permukaan yang diinginkan pada silikon. Ini jauh lebih efisien.
Menguruskan haba
Ketika mengatur sistem pengeringan, kita memerlukan pancaran haba yang intens dalam masa yang singkat. Reflektor emas memberikan pancaran haba yang tinggi di titik fokus, yang sangat berguna untuk proses pengeringan yang cepat.
Namun, perlu berhati-hati: pastikan wafer tersebut dilindungi dengan baik. Haba yang terlalu tinggi boleh merosakkan bahan tersebut. Jangan lupa juga tentang kipas penyejuk. Jika kipas tersebut tidak cukup kuat untuk menyejukkan udara di dalam bilik tersebut, suhu sekeliling akan meningkat. Ini akan merosakkan proses pengeringan.
Memastikan sistem berfungsi dengan baik
Kami menggunakan pemanas yang bersaiz kecil agar ia dapat dimasukkan ke dalam bilik vakum atau bilik atmosfera tanpa masalah.
Namun, perlu diingat bahawa lapisan emas tersebut sangat tipis. Jika bekerja dengan gas yang korosif, reflektor tersebut perlu dilindungi, kerana bahan kimia tersebut boleh merosakkannya.
Saya cadangkan untuk memeriksa secara berkala sama ada terdapat kerosakan pada lapisan emas tersebut. Jika lapisan emas tersebut rosak, kecekapan sistem akan menurun. Anda perlu meningkatkan kuasa pemanas untuk menggantikan kekurangan tersebut, dan ini akan menyebabkan lampu pemanas cepat rosak.