Op een lijn van 300 mm heeft een afwijking van 2°C tijdens het bakken van de fotoresist geen negatieve gevolgen. Dit komt tot uiting in afwijkingen in de breedte van de lijnen, goederen die niet bruikbaar zijn, en een rendement van 7 uur ’s ochtends dat helemaal niet gewenst is. Thermische stabiliteit is geen luxe – het is een essentieel onderdeel van het proces.
Wat er echt toe doet We hebben deze apparaten ontworpen voor gebruik in de lithografieprocesen – zowel voor zacht als hard bakken. De uniformiteit op het niveau van de wafer moet binnen een marge van ±0,1°C blijven gedurende het hele proces. Quartz-halogeen-elementen zorgen voor een voorspelbaar stralingspatroon. NIR-opties zorgen voor een snellere verharding van de materiaallaag, zonder dat er sprake is van excessieve temperaturen.
De apparaten zijn geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Er wordt geen sprake van particuulvorming, dit wordt bevestigd door in-situ metingen. Bovendien bestaan de materialen uit stoffen die geen gassen vrijgeven. U kunt ze 24/7 gebruiken, zonder onverwachte stilstanden. De levensduur bedraagt meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5% in de output.
Waarom deze apparaten worden gebruikt in fabrieken In deze branche is herhaalbaarheid het enige acceptabele criterium. Onze systemen houden de temperatuur nauwkeurig onder controle, zodat de controle over de belangrijkste dimensies nauwkeurig blijft. Hierdoor blijven de parameters van de fotoresist consistent, ongeacht of het om lot 100 of lot 10.000 gaat.
U krijgt zo een stabiel productieproces, zonder dat er thermisch veroorzaakte problemen optreden. Bovendien wordt er minder energie verbruikt dankzij efficiënt thermisch gekoppeld systeem. Ook zijn er minder vervangingsonderdelen nodig vanwege de lange levensduur. Het resultaat is minder afwijkingen, betere distributies en een hoge OEE.
Wat u moet plannen Deze apparaten kunnen rechtstreeks worden ingezet in standaardbakenprocessen. Echter, de thermische couplings kunnen veranderen door de geometrie van de kamer en de gasstroom. Het is dus belangrijk om eerst een testrun uit te voeren om de PID-instellingen af te stellen en de uniformiteitswaarden vast te stellen voor uw specifieke setup.
Dit moet van tevoren worden gedaan. Het resultaat is een bakenprofiel dat constant binnen de vereiste marges blijft.