
Het verminderen van de koolstofuitstoot in de schone ruimte: een slimmere manier om wafers te drogen
Laten we eerlijk zijn: de spoelfase in een halfgeleiderfabriek is meestal waar de energie verloren gaat. Het is een enorme energieverbruiker. Lang hebben we alles gewoon verwarmd met grote convectiekookovens, zodat de hele ruimte op temperatuur kwam, alleen maar om een paar wafers te drogen. Dat is verspilling.
Daarom zijn we overgestapt op waterdichte infraroodlampen. In plaats van de lucht rondom de wafer te verwarmen, richten we de warmte precies op de plek waar zich water bevindt. Het is een efficiëntere en schoner proces dat daadwerkelijk bijdraagt aan het verminderen van de koolstofvoetafdruk.
Omgaan met de rommel
In omgevingen waar wordt gespoeld, heerst veel vocht. Als er ook maar één druppel op de elektroden van de lamp terechtkomt, gaat de lamp kapot. Het gevolg is een onmiddellijke slijtage van de lamp.
Om dit te voorkomen, gebruiken we kwartsomhullingen en hermetische sluitingen. Hierdoor blijft het binnenste van de lamp goed droog, terwijl het buitenste deel de chaos kan afhandelen. We gebruiken kortegolflengte-infraroodstraling, omdat deze recht door de waterslaag op de wafer heen gaat. Het water verdwijnt dan in enkele seconden.
Een milieuvriendelijkere fabriek
Als je een fabriek wilt hebben die de planeet niet schaadt, moet je stoppen met betalen voor warmte die je niet gebruikt. Oude ovens blijven de hele dag heet, zelfs wanneer er niets in zit. Onze IR-systemen zijn anders: ze werken op verzoek. De lamp wordt geactiveerd zodra de wafer de juiste zone bereikt, en wordt weer uitgeschakeld zodra de wafer verdwenen is. Geen nutteloze warmteverbruik. Geen verspilde geld.
Eén voorzorgsmaatregel: deze apparaten genereren veel warmte. Omdat ze speciaal zijn ontworpen voor hoge prestaties om ruimte te besparen, worden ze erg heet. Als je behuizing niet is ontworpen om deze warmte weg te leiden, kan dit leiden tot beschadiging van de behuizing of tot problemen met de temperatuur in de volgende fase. Je moet dus goed opletten hoe de luchtstroom werkt.
In gebruik nemen
Het beste aan deze apparaten is dat je je hele productielijn niet hoeft te vervangen. Ze kunnen gemakkelijk worden ingezet als vervanging voor je huidige droogapparaten. Verbind ze gewoon met je PLC-systeem, zodat ze synchroon lopen met de snelheid van de transportband. Dan kun je direct beginnen met gebruikmaken van deze apparaten.
Omdat ze waterdicht zijn, kun je de hoogdrukspoeling gebruiken zonder je zorgen te maken over druppels die overal terechtkomen.
Een klein advies: controleer de sluitingen elke zes maanden. Het duurt maar vijf minuten, maar als een sluiting kapotgaat, zal de lamp niet meer werken. Dat betekent dat je productie stil komt te liggen, dat je materialen worden verspild, en dat een goede dag verandert in een nachtmerrie.