Fabrika zemininde, wafer kurutma fırınındaki bir kaçırılan zamanlayıcı sadece bir hat durması değildir. Fotoresist yumuşak pişirme aşamasını besleyebilir, kurutma sırasında bir cilt oluşmasına neden olabilir ve bu, verim verilerinde kalıntı solvent veya desen hataları olarak kendini gösterebilir. Zamanlayıcı özellikli wafer kurutma fırınımızı, bu termal adımları sabit ve tekrarlanabilir kılmak için geliştirdik. Zamanlama ve sıcaklık, litografi ve wafer hazırlığında pazarlık edilemez unsurlardır.
Fırının iç yapısı, iş ile eşleşen bir termal yığına sahiptir. Kısa dalga kızılötesi vericiler, hızlı, doğrudan bağlantılı ısıtma sağlarken, parti genelinde wafer seviyesinde ±0.1°C’lik bir uniformite sunar. Entegre kuvars odaları ve HEPA sınıfı sirkülasyon filtrasyonu, parçacık üretimini sıfıra indirir, böylece temiz oda Sınıf 1-100’de çalışırken herhangi bir sıkıntı yaşamazsınız. Zamanlayıcı bir kolaylık değildir. O, yumuşak pişirme ve temizlik sonrası kurutma için tam süre zorlama işlevi gören bir süreç kilididir, termal bütçeyi korur ve döngüden döngüye dalgalanmayı ortadan kaldırır.
Pratikte bu, size şunları kazandırır: hedefe birkaç saniye içinde ulaşan fotoresist pişirme profilleri, CD kontrolünü kararlı tutan ve yeniden işleme partilerini azaltan tekrarlanabilirlik. Kurutma döngüleri, daha az nem tutarak tamamlanır, böylece wafer’ları yüzeyi zedelemeden daha hızlı hareket ettirebilirsiniz. Enerji kullanımı, fırının ayar noktasına hızlıca ulaşması ve aşım olmadan bunu koruması sayesinde düşer, ve çalışma süresi, 24/7 operasyonu sürdürebilen ve partiler arasında hızlı bir şekilde soğuyan bir tasarım ile sağlam kalır.
Kurulum basittir, ancak yardımcı tesislerinizi planlayın. Fırının, temiz, kuru kompresör havası ile birlikte özel bir güç devresine ihtiyacı vardır. Zamanlayıcıyı ana kontrol cihazınızla eşleştirmek basittir. Yine de, niteliklendirme sırasında, tarif zamanlamasını resist tedarikçinizin pişirme eğrisi ile doğrulayın. Bazı formülasyonlar, sadece bekleme süresine göre değil, ramp kenarına karşı daha duyarlıdır.