Vakum odanızı ısıtmayı bırakın; yerine waferi ısıtın.
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde biraz olsun zaman geçirdiyseniz, bu durumun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Waferi belirli bir sıcaklığa getirmeniz gerekir, ancak tüm odanın fırına dönüşmesini istemezsiniz.
Standart IR lambaları oldukça sorunlu olabiliyor; ısıyı her yöne yayıyorlar. Sıkı bir vakum ortamında bu enerjinin gideceği hiçbir yer yoktur ve doğrudan ekipmanın iç duvarlarına yönelir. Böylece ekipmanın dış kısmı devasa bir ısı kaynağı haline gelir ve operatörler ciddi yanma riskleriyle karşı karşıya kalır.
Ama daha iyi bir yol var. İşin püf noktası yönlendirmedir. Isının her yere yayılmasını engelleyerek, yönlendirilebilir IR lambalar kullanılır. Bu, normal ampul yerine el feneri kullanmak gibidir. İç reflektörler ve özel kaplamalar sayesinde termal enerji tam da gereken yere yönlendirilir ve ekipmanın dış kısmından uzak tutulur.
Bu sayede ekipmanın dış kısmı soğuk kalır ve vakum soğutma sistemlerinin makinenin aşırı ısınmasını önlemek için fazladan çalışması gerekmez.
Ancak vakum ortamları oldukça hassastır. Oraya sadece standart lambalar yerleştirilemez. Çoğu malzeme “gaz salar”; bu da süreci bozan safsızlıkların dışarı çıkması anlamına gelir. Bu durum kirlenme açısından büyük bir sorundur.
Bunu önlemek için yüksek saflıklı kuvars ve sağlam sızdırmazlık elemanları kullanılır. Bu tüpler, basınç farklarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır ve vakum seviyelerini bozmazlar.
Ama bir dezavantaj var. Isıyı yoğun bir şekilde odaklandırdığınızda enerji yoğunluğu artar. Bu çok daha verimli olur, ancak odak noktasını tam olarak belirlemeniz gerekir. Eğer waferniz hafifçe merkezden saparsa, bu durum substratın bozulmasına neden olabilir. Bu yüzden bu lambaların yanında kesinlikle PID kontrolcüler kullanılmalıdır. Böylece belirlenen sıcaklıkta kalınır ve aşırı ısınma riski ortadan kalkar.
En iyi yanı ise, bunların mevcut ekipmanlarınızın yerine kullanılabilir olmasıdır. Isı doğrudan parçaya yönlendirilir, duvarlara değil. Fazladan koruma sistemleri veya büyük su soğutma sistemleri kullanmanıza gerek yoktur. Daha basit ve daha etkili bir çözüm.