Làm thế nào để làm khô các tấm wafer MEMS mà không làm hỏng chúng?
Việc làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS đòi hỏi sự cân bằng tinh tế. Bạn cần nhiệt lượng lớn và nhanh chóng để loại bỏ hơi ẩm, nhưng nếu không cẩn thận, bạn có thể phá hủy những cấu trúc vi mô nhạy cảm này.
Để làm được điều này, chúng tôi sử dụng các thiết bị sưởi ấm bằng tia hồng ngoại chuyên dụng. Nhưng bí quyết nằm ở các bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Chúng giúp đảm bảo rằng năng lượng được truyền trực tiếp vào tấm wafer, thay vì chỉ làm nóng bên trong máy.
Tại sao chúng tôi chọn vàng thay vì nhôm?
Các bộ phản xạ bằng nhôm thông thường cũng có thể hoạt động tốt, nhưng chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng hồng ngoại. Điều này gây lãng phí năng lượng.
Chúng tôi chọn lớp phủ vàng có độ tinh khiết cao vì chúng có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại một cách hiệu quả. Điều này giúp tạo ra chùm nhiệt chính xác hơn. Với cách này, bạn có thể giảm công suất tổng thể của hệ thống, nhưng vẫn đạt được nhiệt độ mong muốn trên bề mặt silic. Điều này giúp tiết kiệm năng lượng hơn.
Xử lý nhiệt độ
Khi thiết lập hệ thống sấy, bạn thường cần một luồng nhiệt mạnh và ngắn ngủi. Các bộ phản xạ bằng vàng giúp tạo ra luồng nhiệt mạnh tại điểm tập trung, điều này rất quan trọng để đảm bảo quá trình sấy diễn ra nhanh chóng.
Nhưng cần lưu ý: hãy chú ý đến khay đựng tấm wafer. Vì nhiệt độ rất cao, có thể xuất hiện những điểm nóng cục bộ, khiến vật liệu bị biến dạng.
Ngoài ra, đừng bỏ qua các quạt làm mát. Nếu chúng không đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt tích tụ trong buồng sấy, nhiệt độ môi trường sẽ tăng lên. Khi điều này xảy ra, khả năng tái tạo quy trình sẽ bị ảnh hưởng.
Giữ cho hệ thống hoạt động ổn định
Chúng tôi chọn các thiết bị sưởi ấm có kích thước nhỏ, để chúng có thể được đặt trong các buồng chân không hoặc buồng có áp suất khí quyển mà không gây cản trở.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng lớp vàng khá mỏng. Nếu bạn làm việc trong môi trường có khí ăn mòn, bạn cần bảo vệ các bộ phản xạ bằng vàng, nếu không chúng sẽ bị phá hủy bởi các chất hóa học.
Tôi khuyên bạn nên kiểm tra thường xuyên xem có dấu hiệu ăn mòn hay biến màu trên bề mặt vàng hay không. Nếu lớp vàng bị phá hủy, hiệu suất của hệ thống sẽ giảm sút. Bạn sẽ phải tăng công suất để bù đắp, và điều này sẽ làm cho các bộ phận trong hệ thống bị hỏng nhanh hơn dự kiến.