可与真空环境配合使用的红外加热器

停止给真空室加热吧——转而加热晶圆吧！ 如果你曾在半导体制造厂工作过，就知道其中有多麻烦。你需要让晶圆达到所需的温度，但同时又不想让整个真空室变成一个“烤箱”。 普通的红外灯会向各个方向散发热量。在真空环境中，这些热量无处可去，只能直接传递到设备的内壁。这样一来，设备的外壳就变成了巨大的散热体，操...