别让灯管故障导致晶圆损失 如果你们需要进行高负荷的晶圆生产，那么你们一定知道那种可怕的情景：灯管突然烧坏。听起来很简单，对吧？ 但一旦石英管破裂，情况就会变得很糟糕。玻璃碎片和卤素气体四处飞溅，从而污染晶圆，导致整批晶圆报废。这无疑是一场灾难。 我们专门为防止这种情况而设计了用于洁净室的红外灯。...

停止让机器的壁面过热 如果你曾经使用过半导体生产设备，就应该知道这有多麻烦。你需要让设备内部保持高温，但又不希望整个机箱都变成一个巨大的散热器。传统的对流式加热器其实就像“热炸弹”——它们会将热量散布到各个方向。这样一来，操作人员很容易被烫伤，而且由于设备本身吸收了所有热量，工艺温度也会出现波动。...