晶圆加工设备用温度传感器

晶圆处理设备中的温度传感器：如何通过100%的高压测试确保电气安全 在晶圆处理设备中，温度传感器的作用不仅仅是测量温度。它们实际上是设备中的关键电气组件——在电力强度高、空间狭小且环境条件极为恶劣的情况下，这些传感器仍需保持稳定工作。 我们的处理方式是：每台传感器在出厂前都必须经过全面的高压耐受性...