Jak vysušit čipy MEMS bez jejich poškození
Vysoušení čipů senzorů typu MEMS vyžaduje určitou rovnováhu. Potřebujete teplo – a to rychle – abyste se zbavili vlhkosti. Ale pokud nebudete opatrní, můžete tyto křehké mikrostruktury poškodit.
Abychom to zvládli správně, používáme specializované infračervené ohřívače. Skutečným tajemstvím jsou však zrcadla potažená zlatem. Ta zajistí, že energie dopadne přímo na čip, místo aby se jen zahřívalo vnitřek zařízení.
Proč používáme zlato (a ne hliník)
Standardní hliníková zrcadla sice fungují, ale pohlcují příliš mnoho infračervené energie. To je plýtvání.
My volíme zrcadla potažená zlatem vysoké čistoty – protože dokonale odrážejí blízkofialové světlo právě tam, kam potřebujeme. To umožňuje vytvoření mnohem účinnějšího paprsku tepla. A protože je tato energie tak soustředěná, můžete snížit celkový výkon zařízení a přesto dosáhnout požadované teploty na povrchu křemíku. Je to prostě efektivnější.
Manipulace s teplem
Při nastavování systému na vysoušení obvykle hledáme krátký, intenzivní náběh tepla. Zlatá zrcadla umožňují právě takový nárůst teploty v bodě fokusu – což je přesně to, co potřebujeme pro rychlé vysoušení.
Ale pozor: sledujte také nosič čipů. Protože je teplota tak koncentrovaná, mohou vzniknout lokální „horká místa“, která mohou poškodit materiál.
Kromě toho nezanedbávejte chladicí ventilátory. Pokud nejsou dostatečně silné na to, aby zvládly teplo v komoře, teplota v okolí začne stoupat. Jakmile k tomu dojde, proces přestane být spolehlivý.
Udržování fungování zařízení
Tyto ohřívače udržujeme v malých rozměrech, aby se daly bez problémů umístit do úzkých vakuumových nebo atmosférických komor.
Je však potřeba dávat pozor na tenkou vrstvu zlata – opravdu velmi tenkou. Pokud pracujete s korozivními plyny, musíte zrcadla chránit, jinak chemikálie je zničí.
Doporučuji pravidelné kontroly za účelem odhalení jakýchkoli poškození nebo změn barvy. Pokud se zlato začne ničit, efektivita zařízení klesne. Budete muset zvyšovat výkon, abyste to nahradili – a to rychle vede k poškození lamp.