熱の無駄遣いをやめよう：IRランプの簡単な解決法
IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。つまり、360度全方位にエネルギーが散逸してしまいます。半導体製造の現場では、これは大変な問題です。その熱を適切に制御できなければ、その熱のほとんどが装置の内部に当たってしまいます。その結果、装置のケースが過熱し、部品が損傷し、作業員の手も火傷の危険にさらされます。これは理想的ではありません。
この問題を解決するコツは？アルミニウムです。
私たちは高純度のアルミニウム製の反射板を使用して、熱を本来あるべき場所に向けます。アルミニウムはIR波長の光を効果的に反射します。金属を放物線状や楕円形に曲げることで、光が散乱するのを防ぎ、目的の場所に集中させることができます。そうすることで、混沌とした熱源を正確に制御できるのです。
そうすると、ウェーハに集中的な熱が当たり、他の機器は冷たいままでいられます。エネルギーが装置の外側に当たるのを防ぐことで、全員の作業がずっと楽になります。
ハードウェア面で注意すべき点もあります。
最良の反射角度を得るために、通常は磨かれた表面やアノダイズ処理された表面を使用します。また、アルミニウムを使用する理由は、IRランプの繰り返しの加熱・冷却に耐えられ、形状が変わらないからです。
でも、正直に言うと、何ものも100％効率的ではありません。金属も多少の熱を吸収してしまいます。高出力のランプを狭い空間に置く場合は、空気の流れにも注意が必要です。反射板自体が過熱して、別の問題を引き起こさないようにしなければなりません。
重要なのは安全性です。
反射板を使うことは、単に作業を迅速に済ませるためだけではありません。心配する必要がなくなるからです。エネルギーを適切に制御すれば、装置の外側の温度は適切なレベルに保たれます。そうすれば、大きな断熱材を使ったり、大きな冷却ファンを使ったりする必要もありません。単純に接続すれば、焦点をワークピースに合わせるだけでOKです。これは、厄介な熱問題を解決するためのシンプルな方法です。