ランプの故障によってウェーハを失うことがないようにしましょう。
大量のウェーハを生産している場合、その恐ろしい状況はご存知でしょう。ランプが壊れてしまうのです。単純な話のように思えますよね？
しかし、もしその石英管が破裂してしまったら、大変なことになります。ガラスの破片やハロゲンガスがあちこちに飛び散り、ウェーハが汚染され、数秒で全てのウェーハがダメになってしまいます。まさに大惨事です。
私たちは、このような事態を防ぐために、特別にクリーンルーム用のIRランプを開発しました。
石英管を守る「安全網」
まず、高純度の融解石英を使用します。この素材は、熱衝撃に耐えられる厚みを持っています。しかし、それだけではありません。
さらに、その管を耐熱性かつ化学的に不活性なシースで覆います。これはまるで安全なコートのようなものです。フィラメントが壊れて管が割れても、このシースが破片を受け止めてくれます。結局はランプを交換する必要がありますが、ウェーハは無事です。これは毎回行われる妥協点です。
熱管理の重要性
高出力のランプを狭いスペースに設置すると、過度な熱が発生します。これはバランスを取る必要がある問題です。
もし、温度を早く上げるために電圧を高くしすぎると、フィラメントが破壊されてしまいます。そうなると熱点ができ、それが原因でランプが早期に破損してしまいます。必ず、電源の電圧をランプの定格値に合わせてください。そうすれば、ハードウェアも快適に動作します。
しっかりと接続する
緩んだ接続は危険です。接続が不安定だとアークが発生し、ソケットが溶けたり、管の端が折れたりしてしまいます。
プロのアドバイスとしては、ランプが壊れるのを待たないでください。運転時間に基づいて、定期的にランプを交換しましょう。生産中に混乱を起こすよりも、自分の都合に合わせてランプを交換した方がずっと簡単です。
少し気を付けるべき点…
その保護シースのおかげで、IR光の伝達が少し阻害されます。そのため、温度が少し下がることがあります。
これを解決するには、電力を5～10％増やすか、ウェーハをもう少し長く加熱するだけです。小さな調整ですが、クリーンルームが常に清潔であることを確実にするためには、十分価値があります。