RTPハロゲンランプ交換

ファブフロアでは、RTPチャンバー内での一度の熱逸脱が熱予算を瞬時に消費してしまうことがある。フォトレジストのプロファイルはずれ始め、ライン幅制御は狂い、歩留まりに影響が出る。我々は、この不確実性を排除し、サイクルごとに再現可能な加熱を実現するためにRTP用ハロゲンランプの代替品を開発した。 以下...