フォトレジスト用に最適な赤外線ランプ

リソグラフィーの工程においては、焼成温度が1℃変動するだけで、回路の寸法にナノメートル単位の誤差が生じます。これだけでも、気づく前に大量のウェーハが廃棄されてしまうことになります。ソフトベイクではフォトレジストの形状を決定し、ハードベイクではその形状を固定します。しかし、ウェーハ全体にわたって均一...