B2Bウェーハ製造用資材

300mmウェーハの場合、フォトレジストを焼成する際に2°Cのズレがあっても問題にはなりません。ただし、それによって線幅に変動が生じたり、不良品が出たり、朝7時時点での歩留まりが悪くなったりします。熱安定性は単なる付加的な要素ではなく、プロセスそのものです。 実際に重要なのは何か 私たちが開発した...