光学ウェーハ処理ヒーター

リソグラフィ工程のフロアでは、300 mmウェハがコートからベイクへとラインのタクトに合わせて連動して流れる。ソフトベイクは90 ℃、ハードベイクは110 ℃で行う。フォトレジストはロットごとに同じ挙動を示さなければならない。熱プロファイルがずれると、その場で代償を払うことになる：CDシフト、接着...