ウェーハ乾燥システムでの熱の無駄遣いをやめましょう。 正直言って、ウェーハの乾燥というのは、エネルギーを正確に必要な場所に送り込むことが重要です。しかし、古いものや性能の低い反射板を使っている場合、実質的にエネルギーを無駄にしていることになります。 私たちは、金コーティング技術を用いてこの問題を解...

MEMSウェーハを破壊することなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスをうまく取る必要があります。水分を取り除くためには熱が必要であり、しかもそれを迅速に行う必要があります。しかし、注意しないと、その微細で繊細な微小構造が壊れてしまいます。 これを実現するために、私...

パッケージング工場では、歩留まりを下げる要因として、清掃後に残った水分や、十分に硬化していないフォトレジストが挙げられます。閉じ込められた水分は、封止剤が加熱されるとポップコーン状の欠陥を引き起こします。また、十分に硬化していないフォトレジストは、ダイシングの際に表面が傷つき、微細なスクラッチが生...

ファブフロアでは、CMP後のわずかな水跡が歩留まりを大きく損なう。従来の乾燥工程では微小な液滴が残留するか、粒子を巻き上げて次のリソグラフィ工程の障害要因となる。そこで当社は、損失が生じる最初の段階で食い止めるため、Post-CMPウェハ乾燥用ヒーターを開発した。 内部の重要要素 ウェハへは短波長...

ファブフロアでは、ウェーハ乾燥オーブンのタイマーを見逃すことは、単なるライン停止ではありません。フォトレジストのソフトベークが不足し、乾燥中に皮膜が形成され、歩留まりデータに残留溶剤やパターン欠陥として現れる可能性があります。我々は、これらの熱工程を確実にロックし、繰り返し可能にするために、タイマ...