램프 고장으로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 막으세요.
고부하의 웨이퍼 생산을 진행할 때면 그런 끔찍한 상황을 겪게 됩니다. 램프가 고장 나는 것이죠. 간단한 문제처럼 보이지만, 만약 석영관이 파손된다면 큰 문제가 생깁니다. 유리 조각과 할로겐 가스가 사방으로 튀어나와 웨이퍼를 오염시키고, 몇 초 만에 전체 웨이퍼가 망가집니다. 완전한 재앙이죠.
우리는 이러한 상황을 방지하기 위해 특별히 청정실용 IR 램프를 개발했습니다.
석영관을 보호하는 “안전망”
우리는 열충격에 견딜 수 있는 두께의 고순도 석영관을 사용합니다. 하지만 그걸로 끝나지 않습니다. 우리는 석영관을 내열성이 있고 화학적으로 안정적인 커버로 감싸줍니다. 마치 안전한 코쿤과 같은 것이죠. 필라멘트가 고장 나서 석영관이 깨진다 해도, 이 커버가 파편들을 막아줍니다. 램프는 교체해야 하지만, 웨이퍼는 안전하게 보호됩니다. 이것이 바로 우리가 항상 선택하는 방법입니다.
열 관리의 중요성
높은 와트수의 램프를 좁은 공간에 넣으면 엄청난 열이 발생합니다. 이는 균형을 맞추는 문제입니다. 만약 온도를 빨리 올리기 위해 전압을 너무 높이 설정한다면, 필라멘트가 손상됩니다. 그러면 과열이 발생하여 석영관이 파손될 수 있습니다. 반드시 램프의 정격 전압에 맞게 전력 공급을 조절해야 합니다. 그러면 하드웨어도 안전해집니다.
단점도 있습니다…
보호용 커버 때문에 IR 광선이 약간 차단됩니다. 그래서 온도가 약간 낮아질 수 있습니다. 이를 해결하려면 전력을 5-10%만 높이거나, 웨이퍼가 램프에 머무는 시간을 조금 늘리면 됩니다. 작은 조정이지만, 청정실이 계속해서 깨끗하게 유지된다는 점에서 그만한 가치가 있습니다.