Houd je wafers schoon: waarom het ontwerp van de lampen belangrijk is
In een halfgeleiderfabriek is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit met zich meebrengt, maar ook om wat er daarna gebeurt. Als een kwartsbuis tijdens het werken kapotgaat, komen er glasscherven en verdampte metalendeeltjes terecht op de wafers. Dit heeft direct invloed op de kwaliteit van de producten.
Wij hebben onze IR-lampen gemaakt van koolstofvezels, zodat dit soort problemen voorkomen worden.
Omgaan met de hitte
De meeste lampen gaan kapot wanneer de stroomtoevoer snel wordt veranderd. Er wordt veel energie in het midden van de lamp geïnjecteerd, terwijl de uiteinden koeler blijven. Deze temperatuurverschillen zorgen voor veel mechanische spanningen.
Om dit op te lossen, gebruiken we kwarts met een zeer lage thermische uitbreiding. Hierdoor kan de buis gemakkelijk hoge temperaturen weerstaan zonder te barsten.
Verder gebruiken we koolstofvezels in plaats van tungsteen, omdat deze beter tegen hitte kunnen. Ze barsten niet wanneer er een plotselinge stroomstoot optreedt. We letten ook goed op de spanning in de draad. Als deze te laag is, ontstaan er hete plekken, waardoor de buis kan barsten. Simpel gezegd.
Voorkomen van deeltjes
We gebruiken een tweestappenbenadering om te voorkomen dat er vuil op de wafers terechtkomt. Eerst wordt de binnenkant van de lamp afgesloten in een vacuümomgeving, zodat alle onzuiverheden worden verwijderd.
Voor situaties met hoge belastingen bieden we ook een buitenste beschermende laag aan. Denk hierbij aan een soort ‘verzekering’. Als de hoofdlamp kapotgaat, vangt deze laag alles op.
Let op: er is wel een compromis. Die extra laag glas verminderde de IR-overdracht iets. Je moet de stroomsterkte waarschijnlijk verhogen om de oppervlakte van de wafers op de gewenste temperatuur te houden.
De praktische details
Ook de kleine details zijn belangrijk. We gebruiken versterkte uiteinden, zodat er geen elektrische bogen ontstaan. Als er een boog ontstaat, wordt er een klein gebied met extreme hitte gecreëerd, waardoor het kwarts beschadigd raakt.
Zorg ervoor dat de kabels stevig zijn bevestigd. Controleer ook regelmatig de koelventielen. Als het koelsysteem het begeeft, zal zelfs het beste veiligheidsglas niet voorkomen dat de lamp oververhit raakt.