阻止玻璃碎片飞溅：应对红外灯故障的问题 任何从事半导体晶圆加工的人都能体会到那种困扰。当你在高负载状态下运行设备时，红外灯突然发生故障。 问题不仅在于设备需要停机维修，更糟糕的是随之而来的混乱状况。一旦石英管破裂，玻璃碎片和卤素气体就会四处飞溅，污染晶圆。这真是一场灾难。 因此，我们才使用陶瓷端盖...

在晶圆处理过程中，适宜的低温烘烤温度曲线对于确保光刻胶的尺寸精度以及侧壁形状至关重要。如果温度偏差达到半度，那么就会导致线宽出现偏差，而这种偏差会直接影响到后续的蚀刻工序。因此，我们设计了陶瓷红外线加热器，以此来消除这种误差。 该加热器的核心部分是由高发射率的陶瓷材料构成的，同时还能发出短波红外辐...