ফ্যাব ফ্লোরে
CMP-এর পরে একটি একক জলদাগ উৎপাদন হারকে মারাত্মকভাবে ক্ষতি করতে যথেষ্ট। প্রচলিত শুকানোর পদ্ধতি মাইক্রো-ড্রপলেট পিছনে রেখে যায় অথবা এমন কণাগুলোকে উল্টে দেয় যা পরবর্তী লিথোগ্রাফি পদক্ষেপকে নষ্ট করে। আমরা আমাদের পোস্ট-CMP ওয়েফার শুকানোর হিটার তৈরি করেছি যাতে সেই ক্ষতি সেই স্থানে বন্ধ হয় যেখানে এটি শুরু হয়।
যা গুরুত্বপূর্ণ ভিতরে আমরা ওয়েফারের উপর স্বল্প-তরঙ্গ ইনফ্রারেড ইমিটার দিয়ে আঘাত করি, পুরো পৃষ্ঠ জুড়ে সাব-মিলিমিটার তাপীয় একরূপতা প্রদান করি। তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে, তাই রান-টু-রান ধারাবাহিকতা প্রক্রিয়ায় অন্তর্ভুক্ত। ইউনিটটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে চলতে পারে এবং কণার সংখ্যা বাড়ায় না—শুকানোর চক্রের সময় শূন্য কণার উৎপাদন। পুনরাবৃত্তি একটি অতিরিক্ত নয়। এটি প্রকৌশলী দ্বারা নির্মিত।
এটি প্রক্রিয়ায় কেন ফিট করে CMP-এর পরে, ওয়েফার স্লারি অবশিষ্টাংশ এবং জল নিয়ে আসে, এবং আপনাকে উভয়ই সরাতে হবে interconnects বা ফটোরেজিস্ট স্তরের ক্ষতি না করে। আমাদের হিটার দ্রুত শুকিয়ে যায়, সংবেদনশীল চলচ্চিত্রগুলির তাপীয় বাজেটের মধ্যে থাকে। আপনি একটি স্থিতিশীল যোগাযোগ কোণ এবং পৃষ্ঠের শক্তি পান, যা পরবর্তী আবরণের জন্য ফটোরেজিস্টের আঠালো শক্তিশালী রাখে। তাড়াতাড়ি চক্রের সময়, কম পুনরায় কাজ, এবং প্রতি ব্যাচে কম শক্তি—কারণ শক্তি সরাসরি সেখানে যায় যেখানে এটি প্রয়োজন।
আপনাকে যা লক্ষ্য রাখতে হবে হিটারটি স্ট্যান্ডার্ড ট্র্যাকে পড়ে, কিন্তু ইনস্টল করার সময় প্রক্রিয়া চেম্বার এবং গ্যাস প্রবাহের পথের সাথে সংমিশ্রণ যাচাই করতে হবে। প্রতিটি রেসিপির জন্য সামঞ্জস্যের জন্য একটি সংক্ষিপ্ত টিউনিং উইন্ডো আশা করুন; একবার সেট হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি লক থাকে। অপারেটরদের দীর্ঘ দৌড়ের সময় ক্যালিব্রেশন বজায় রাখতে ইন-লাইন পাইরোমিটার দিয়ে ইমিটার আউটপুটের দিকে নজর রাখা উচিত। আমরা এটি ফ্যাবের জন্য ডিজাইন করেছি, যেখানে ত্রুটির মার্জিন ন্যানোমিটারে পরিমাপ করা হয়। যদি আপনার লাইন CMP-এর পরে ভিজ defects ত্রুটি নিতে না পারে, তাহলে এই ড্রায়ার প্রক্রিয়াটি সৎ রাখে।