Bei einer Linienlänge von 300 mm hat eine Abweichung von 2 °C während des Trocknungsprozesses des Fotoleitsystems keine negativen Auswirkungen. Es zeigt sich lediglich in Abweichungen der Linienbreite sowie in Ausschussmengen. Zudem führt dies zu einer Produktionsleistung, die nicht den Anforderungen entspricht. Thermische Stabilität ist also keine „nice-to-have“-Eigenschaft – sie ist vielmehr ein grundlegender Bestandteil des Prozesses.
Was wirklich wichtig ist Wir haben diese Geräte für den Einsatz in der Lithografie entwickelt – mit Möglichkeit zur sanften oder intensiven Trocknung. Die Homogenität auf Wafer-Ebene wird dabei auf ±0,1 °C innerhalb des gesamten Prozesses gehalten. Quarz-Halogen-Elemente sorgen für ein vorhersehbares Strahlungsmuster. Die NIR-Variante ermöglicht eine schnellere Aushärtung ohne Überschreitung der gewünschten Werte.
Die Geräte sind für Umgebungen der Klasse 1–100 geeignet. Die Erzeugung von Partikeln wird durch In-Situ-Messungen vermieden. Zudem verwenden die Geräte Materialien, die keinen Gasabgang verursachen. Man kann mit einer 24/7-Verfügbarkeit ohne unplanmäßige Stillstände rechnen. Die Lebensdauer beträgt mehr als 5.000 Stunden, und die Abweichungen in der Leistung liegen unter 5 %.
Warum diese Geräte in der Fertigung verwendet werden In dieser Branche ist Reproduzierbarkeit das einzige akzeptable Kriterium. Unsere Systeme halten die Temperaturwerte innerhalb eng definer Grenzen – dadurch bleibt die Kontrolle der kritischen Dimensionen konstant. Die Profile des Fotoleitsystems bleiben auch bei der Verarbeitung von Lot 100 bis Lot 10.000 gleich.
Man erhält somit eine stabile Produktionsleistung ohne thermisch bedingte Nacharbeiten. Durch effiziente thermische Kopplung wird außerdem weniger Energie verbraucht. Zudem sind weniger Ersatzteile erforderlich, da die Geräte eine lange Lebensdauer haben. Das Ergebnis: Weniger Abweichungen, genauere Werte und eine zuverlässige OEE.
Was man berücksichtigen muss Diese Geräte sind dafür ausgelegt, direkt in Standard-Trocknungsanlagen eingesetzt zu werden. Doch die thermische Kopplung hängt von der Geometrie der Kammer sowie vom Gasfluss ab. Bei der Inbetriebnahme ist daher eine kurze Qualifikationsphase notwendig, um die PID-Einstellungen anzupassen und die Homogenitätsprofile für die jeweilige Anlage zu überprüfen.
Das lohnt sich – schließlich bleibt das Trocknungsprofil von Schicht zu Schicht konstant.