Hören Sie auf, auf die Erwärmung der Wafer zu warten – warum UHP-Infrarotlampen die bessere Lösung sind
Lassen Sie uns über das Problem der Erwärmung bei der Halbleiterfertigung sprechen.
Seit langem werden dazu Heißluftsysteme verwendet. Doch dabei ist ein Problem: Die zirkulierende Heißluft ist äußerst langsam. Im Grunde genommen heizt man die Luft erst auf, damit diese wiederum die Wafer erhitzen kann. Das ist eine unnötige zusätzliche Schritt.
UHP-Infrarotlampen umgehen dieses Problem. Sie nutzen die Strahlungsenergie – die Energie erreicht das Ziel somit mit der Geschwindigkeit des Lichts. Das geschieht sofort.
Das „Warten“ kostet Sie Geld
Wenn Sie schon einmal in einer großflächigen Fertigungsanlage gearbeitet haben, wissen Sie, dass thermische Verzögerungen ein großes Problem darstellen. Man muss Minuten lang warten, bis die Kammer einen stabilen Zustand erreicht hat.
Bei großtechnischer Produktion sind diese Minuten nicht nur nervig – sie bedeuten auch finanzielle Verluste.
Durch den Einsatz von UHP-Infrarotlampen werden diese Minuten in Sekunden umgewandelt. So können Sie die Temperaturkontrolle verbessern und mehr Wafer pro Zeiteinheit verarbeiten, ohne dass die Ausrüstung überlastet wird. Alles läuft einfach besser.
Reinheit und Präzision sind entscheidend
In dieser Branche ist „Reinheit“ keine Empfehlung – sie ist unbedingt notwendig. Ein einziger metallischer Ion kann dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird.
Deshalb verwenden wir für diese Lampen hochreinen synthetischen Quarz. Keine Kontamination, keine Überraschungen.
Außerdem passen wir die Wellenlänge der Strahlung genau an die Bedürfnisse des zu behandelnden Materials an. Da die Leistungsdichte sehr hoch ist, ist die Größe der Lampen außergewöhnlich klein. Man kann entweder mehr Heizelemente um die Wafer platzieren oder einfach die Heizzone verkleinern, um Platz zu sparen.
Ehrliche Kompromisse
Ich werde Ihnen nicht weismachen, dass es sich um eine Wunderlösung handelt. Es gibt einige Dinge, die man richtig machen muss.
Da die Infrarotheizung gerichtet ist, „umhüllt“ sie ein Teil nicht wie Heißluft. Wenn die Reflektoren oder Abschirmungen nicht perfekt eingestellt sind, entstehen kühle Stellen. Man muss daher sehr sorgfältig mit der Geometrie der Reflektoren umgehen, damit alles gleichmäßig erwärmt wird.
Und da diese Lampen so viel Leistung in einem kleinen Raum abgeben, darf man bei den Kühlsystemen nicht sparen. Wenn diese nicht richtig dimensioniert sind, können die Lampen bei schnellem Betrieb kaputtgehen.
Wenn man Kühlung und Reflektoren richtig einstellt, erhält man ein System, das schnell, sauber und zuverlässig funktioniert.